纯水系统是指系统从原水(通常为自来水或者产线回收水)至生产出纯水的完整系统。 一般纯水系统是经由多重过滤,离子交换,逆渗透,紫外线杀菌,UV酸化设备,脱气膜、高纯度树脂、超滤所产生的纯水。通常应用于液晶面板制作、半导体晶圆、芯片行业的加工和制造上。
由于水质不达标而造成的产品良率低
吨水运行成本过高
系统长期稳定运行维护的能力不足
誉盛多项UPW系统独有的专利,高品质水质能够保证
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